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J-GLOBAL ID:200903061321472146

露点の測定方法及びスラブ光導波路を利用した露点測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 工業技術院物質工学工業技術研究所長
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997291912
Publication number (International publication number):1998082738
Application date: Oct. 07, 1994
Publication date: Mar. 31, 1998
Summary:
【要約】【課題】 光を用いる、空気、その他のガス中の水分を高感度に測定できる露点の測定方法及び測定装置。【構成】 試料ガスとの接触表面14を設けた光導波路コア層11をもつスラブ光導波路10を有してなり、光導波路コア層11中に光13を入射して多重反射を行わせ、出射光を得て、光導波路コア層表面14に付着した露16による出射光の光散乱特性を測定する。
Claim (excerpt):
試料ガスを冷却させることにより、接触表面に水滴を形成させ、接触表面を設けた光導波路層をもつスラブ光導波路の光導波路コア層中に光を入射して多重反射を行わせ、光導波路コア層表面に付着した露による出射光の光散乱特性を測定することにより露点を測定することを特徴とするスラブ光導波路を利用した露点の測定方法。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
  • 特開平4-262244
  • 特公平5-033344
  • 光導波路型バイオセンサ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平3-265165   Applicant:新技術事業団
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