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J-GLOBAL ID：200903061321482346

磁気記録媒体の製造方法

Inventor： 鬼頭 諒 ,  藤巻 成彦
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995191430
Publication number (International publication number)：1997044844
Application date： Jul. 27, 1995
Publication date： Feb. 14, 1997
Summary：

【要約】【構成】ハロゲン化炭素と窒素ないしハロゲン化窒素化合物からなる混合ガスを用いることによって耐久性の優れた窒化炭素の保護膜3を安全に形成する磁気記録媒体の製造方法および同製造方法で製造した磁気記録媒体。【効果】ハロゲン化炭素と窒素ないしハロゲン化窒素化合物からなる混合ガスを用いることによってシアン化水素を発生するすることなく耐久性の優れた窒化炭素保護膜を形成することができる。

Claim (excerpt)：

ハロゲン化炭素と窒素ないしハロゲン化窒素又はその混合物からなる混合ガスを用いて窒化炭素保護膜を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

IPC (3)：

G11B 5/84 ,  C23C 16/34 ,  G11B 5/72

FI (3)：

G11B 5/84 B ,  C23C 16/34 ,  G11B 5/72