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J-GLOBAL ID：200903061328688497

受光素子アレイ及びその製造方法

Inventor： 中村 幸夫 ,  清水 孝篤 ,  戸倉 和男 ,  古谷 博司 ,  荻原 光彦 ,  谷中 真澄 ,  千葉 已生
Applicant, Patent owner： 沖電気工業株式会社
Agent (1)： 大垣 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993250571
Publication number (International publication number)：1995106536
Application date： Oct. 06, 1993
Publication date： Apr. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】 受光素子アレイの各受光素子の、同一強度の入力光に対する出力ばらつきを、従来より改善できる構造を提供すること。【構成】 半導体下地31に多数個のダイオード351 〜35n をアレイ状に具え、前記半導体下地31の、少なくとも各ダイオード351 〜35n の周辺にあたる部分上に、絶縁膜37を具え、該絶縁膜37の、前記各ダイオード351 〜ー5n の周辺にあたる部分上それぞれに、対応するダイオード用の電極及びボンディングパッドとされる導電性膜531 〜53n をそれぞれ具える受光素子アレイにおいて、各導電性膜531 〜53n それぞれの面積を互いに等しくしてある。

Claim (excerpt)：

半導体下地にダイオードを多数個アレイ状に具え、前記半導体下地の、少なくとも各ダイオードの周辺にあたる部分上に、絶縁膜を具え、該絶縁膜の、前記各ダイオードの周辺にあたる部分上それぞれに、対応するダイオード用の電極及びボンディングパッドとされる導電性膜をそれぞれ具える受光素子アレイにおいて、各ダイオード用の導電性膜それぞれの面積を互いに等しくしてあることを特徴とする受光素子アレイ。

IPC (7)：

H01L 27/14 ,  H01L 21/60 301 ,  H01L 31/10 ,  H04N 1/028 ,  B41J 2/44 ,  B41J 2/45 ,  B41J 2/455

FI (3)：

H01L 27/14 D ,  H01L 31/10 A ,  B41J 3/21 L