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J-GLOBAL ID：200903061334175159

ペリクル及びペリクルの製造方法

Inventor： 鈴木 樹
Applicant, Patent owner： 東ソー株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992293199
Publication number (International publication number)：1994148871
Application date： Oct. 30, 1992
Publication date： May. 27, 1994
Summary：

【要約】【目的】 ペリクル枠の端面に、マスクに粘着するための粘着剤が単層に塗布されたペリクルにおいて、粘着剤につなぎ目がなくマスクに粘着したときに粘着剤との間に隙間が発生せず、また、粘着剤とマスクとの粘着力が適度に弱められマスクから剥離したときにマスク上に粘着剤が残らず、粘着剤の糸曳引きによる汚染のないペリクル及び室温で塗布可能な粘着剤を形成するペリクルの製造方法を提供する。【構成】 粘着剤として液状の紫外線硬化型樹脂を硬化させたものを用いるペリクルおよび液状の紫外線硬化型樹脂を室温で塗布した後、紫外線照射し硬化させることにより粘着剤層を形成するペリクルの製造方法。

Claim (excerpt)：

ペリクル枠の片端面にペリクル膜が貼付され、その反対側の端面にペリクルをマスクに粘着するための粘着剤が塗布されたペリクルにおいて、粘着剤として液状の紫外線硬化型樹脂を硬化させたものを用いることを特徴とするペリクル。

IPC (2)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027