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J-GLOBAL ID：200903061339858874

走査形電子顕微鏡

Inventor： 郡司 和弘 ,  影山 甲子男
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994048258
Publication number (International publication number)：1995262950
Application date： Mar. 18, 1994
Publication date： Oct. 13, 1995
Summary：

【要約】【目的】画面が見易く、かつ視野選択や焦点合わせなどにおける操作性のよい電子顕微鏡を提供すること。【構成】広い視野と狭い視野の画像を同時に表示する異種倍率像同時表示機能を備えた電子顕微鏡において、広い視野の像は任意に画像を更新したいときのみ走査領域を走査し画像メモリに画像を取り込んで画像データを更新し出力表示して、それ以外のときは画像メモリに取り込んだ画像データを記憶保持して固定画像を表示し、狭い視野の画像は、上記広い視野の画像を取り込むとき以外、常時走査を行い表示する手段を持たせる。【効果】広い視野と狭い視野の走査領域を交互に走査する必要がなくなるため、走査画面が切り換わるまでの時間待ちや画面のちらつき,断続的な画像の更新による画面の見づらさが解消できて、操作性を向上することができる。

Claim (excerpt)：

試料上に電子線を二次元的に走査するために電子線通路に設けた偏向系と、前記走査領域の中の任意の場所をさらに拡大するため該偏向系に流す電流を複数段に可変すると同時に走査領域の位置を可変する機能と、前記拡大位置を選択するための画像を静止画像として表示するため、試料から発生する二次電子等の像信号を半導体メモリ等で構成される記憶部に記憶すると同時に表示信号として出力することが可能な画像メモリと、前記拡大位置を選択するためのもとの像と選択された場所の拡大像とを同時に表示するための複数の表示領域もしくは表示部と、前記画像メモリへの画像の取り込みの開始を指示するための操作入力手段とを備えた走査形電子顕微鏡において、前記操作入力手段を介し画像の取り込み指示が行われたとき、該画像メモリに画像データを構成するための任意の期間だけ前記拡大位置を選択するためのもとの走査領域に電子線を走査し、また同時に画像メモリへ像信号を取り込み記憶データを更新し、それ以外のときは前記拡大位置の走査領域に電子線を走査し、該複数の表示部には時々刻々と更新される拡大像と、拡大位置を選択するために記憶した固定画像を表示するように画像メモリと二次元偏向系とを制御したことを特徴とする走査形電子顕微鏡。

IPC (3)：

H01J 37/147 ,  H01J 37/22 502 ,  H01J 37/22