ポジ型フォトレジスト組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小栗昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000115497
Publication number (International publication number)：2001296661
Application date： Apr. 17, 2000
Publication date： Oct. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】半導体デバイスの製造において、レジストパターンのエッジラフネスが改善され、更に露光マージン(特に孤立ラインの露光マージン)に対する改善効果がある、すなわち露光量を変化させたときの、孤立ラインの線幅変動が小さいポジ型フォトレジスト組成物を提供すること。【解決手段】(A)特定の有橋式脂環式構造を有する繰り返し構造単位および特定のラクトン構造を有する繰り返し単位を含有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂、(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。

Claim (excerpt)：

(A)下記一般式(I)で示される繰り返し構造単位および下記一般式(II)で示される繰り返し単位を含有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂、(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。【化1】【化2】一般式(I)中、R11〜R14は、水素原子又は置換基を有しても良いアルキル基を表す。aは0または1である。一般式(II)中、R1は、水素原子又はメチル基を表す。Wは、単結合、アルキレン基、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、エステル基よりなる群から選択される単独あるいは2つ以上の基の組み合わせを表す。Ra,Rb,Rc,Rd,Reは各々独立に、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を表す。m,nは各々独立に0〜3の整数を表し、m+nは、2以上6以下である。

IPC (11)：

G03F 7/039 601 , C08F220/28 , C08F222/40 , C08F232/04 , C08F232/08 , C08K 5/00 , C08K 5/16 , C08L 33/14 , C08L 45/00 , C08L101/12 , H01L 21/027

FI (11)：

G03F 7/039 601 , C08F220/28 , C08F222/40 , C08F232/04 , C08F232/08 , C08K 5/00 , C08K 5/16 , C08L 33/14 , C08L 45/00 , C08L101/12 , H01L 21/30 502 R

F-Term (75)：

2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BF02 , 2H025BG00 , 2H025CB10 , 2H025CB43 , 2H025CB45 , 2H025CC04 , 2H025CC20 , 4J002BD122 , 4J002BG071 , 4J002BH021 , 4J002BK001 , 4J002CE001 , 4J002CP032 , 4J002EB116 , 4J002EB126 , 4J002EB146 , 4J002ED056 , 4J002EN027 , 4J002EN067 , 4J002EN097 , 4J002EQ017 , 4J002ER007 , 4J002ER027 , 4J002ES006 , 4J002EU047 , 4J002EU077 , 4J002EU117 , 4J002EU127 , 4J002EU186 , 4J002EU226 , 4J002EU237 , 4J002EV046 , 4J002EV127 , 4J002EV216 , 4J002EV236 , 4J002EV296 , 4J002EV306 , 4J002EV336 , 4J002FD310 , 4J002FD312 , 4J002GP03 , 4J002HA05 , 4J100AK32R , 4J100AL08Q , 4J100AM43R , 4J100AM45R , 4J100AM47R , 4J100AR09P , 4J100AR11P , 4J100BA02P , 4J100BA02R , 4J100BA03P , 4J100BA03R , 4J100BA05Q , 4J100BA11Q , 4J100BA11R , 4J100BA14P , 4J100BA15Q , 4J100BA58R , 4J100BB18R , 4J100BC09R , 4J100BC53Q , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100JA38

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