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J-GLOBAL ID：200903061393747522

半導体加速度センサの感度測定装置

Inventor： 岩田 仁 ,  糸魚川 貢一
Applicant, Patent owner： 株式会社東海理化電機製作所
Agent (1)： 中野 佳直 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991191597
Publication number (International publication number)：1993034371
Application date： Jul. 31, 1991
Publication date： Feb. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ウエハ状態の検定チップに所定の流量の空気を吹き付けたときのセンサ出力から感度を測定する。【構成】 ウエハ1状態のカンチレバー11を有する検定チップ10に所定の流量の空気を吹き付ける手段3(31〜34)、検定チップとプローブを介して接続され、該検定チップの歪ゲージ抵抗体12の抵抗値変化を電気的に処理してセンサ出力を得る手段4および該センサ出力をデータ処理してセンサ感度を求め、このセンサ感度を評価する手段5とから構成される。センサ感度測定はマスタチップによる測定結果から検定チップのセンサ出力が予め設定された許容範囲に入るのに必要な空気流量を制御してカンチレバーに吹き付ける。このときのカンチレバーの変形量に応じた抵抗値変化からセンサ出力電圧を取り出し、この値が予め設定された許容範囲内にあるか否かを判断して加速度センサの良否判定を行う。

Claim (excerpt)：

センサ感度をウエハ状態で測定する半導体加速度センサの感度測定装置において、前記ウエハ状態の検定チップに所定の流量の空気を吹き付ける手段と、前記検定チップとプローブを介して接続され、該検定チップの歪ゲージの抵抗値変化を電気的に処理してセンサ出力を得る手段と、該センサ出力をデータ処理してセンサ感度を求め、このセンサ感度を評価する手段とから構成された半導体加速度センサの感度測定装置。