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J-GLOBAL ID：200903061411372809

電力制御方法及びその装置

Inventor： 小林 健 ,  吉野 孔 ,  石渡 章浩
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社 ,  理化工業株式会社
Agent (1)： 浅井 章弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998076498
Publication number (International publication number)：1999262174
Application date： Mar. 10, 1998
Publication date： Sep. 24, 1999
Summary：

【要約】【課題】 電力供給を時分割で制御することによりフルパワー時の使用電力量を抑制して、その分、設備の小容量化を達成することができる電力制御方法を提供する。【解決手段】 1つの電源から供給される電力を、加熱を目的とする複数の電力使用系14A〜14Cに供給するための電力制御方法において、前記複数の電力使用系を、時分割でオンオフ制御する。このように、電力供給を時分割で制御することによりフルパワー時の使用電力量を抑制して、その分、設備の小容量化を達成する。

Claim (excerpt)：

1つの電源から供給される電力を、加熱を目的とする複数の電力使用系に供給するための電力制御方法において、前記複数の電力使用系を、時分割でオンオフ制御するようにしたことを特徴とする電力制御方法。

IPC (3)：

H02J 3/00 ,  G05F 1/00 ,  G05F 1/66

FI (3)：

H02J 3/00 B ,  G05F 1/00 F ,  G05F 1/66 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭57-113733
  
• 特開昭59-123424