Pat

J-GLOBAL ID：200903061425759315

集積光電センサおよびその製造方法

Inventor： ペーター・シユペツクバツヒヤー ,  デイーター・ミヒエル
Applicant, Patent owner： ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
Agent (1)： 江崎 光史 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999343657
Publication number (International publication number)：2000193421
Application date： Dec. 02, 1999
Publication date： Jul. 14, 2000
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 センサのできる限り多数の構造素子を半導体基板内に集積して形成し、半導体基板の一方の側面に全ての電気信号と、他方の側面に全ての光信号を送受信する集積光電センサおよびこのセンサを作製する方法を提示する。【解決手段】 半導体基板6から成り、目盛9を担持する目盛板10を走査する集積光電センサにあって、目盛板10とは反対の側面に多数の光検出器2.1,2.2を備え、その場合、半導体基板6が光検出器2.1,2.2の領域で少なくとも部分的に離れていて、目盛板10とは反対の側面に光源1を備え、この光源の領域で半導体層11.3,阻止層11.4および半導体基板6が離れていて、目盛板10に対向する側面でホルダー本体7に接続し、ホルダー本体7が少なくとも一つの目盛8.1,8.2,8.3を有する。

Claim (excerpt)：

半導体基板(6)から成り、目盛(9)を担持する目盛板(10)を走査する集積光電センサにおいて、・目盛板(10)とは反対の側面に多数の光検出器(2.1,2.2)を備え、その場合、半導体基板(6)が光検出器(2.1,2.2)の領域で少なくとも部分的に離れていて、・目盛板(10)とは反対の側面に光源(1)を備え、この光源の領域で半導体層(11.3),阻止層(11.4)および半導体基板(6)が離れていて、・目盛板(10)に対向する側面でホルダー本体(7)に接続し、ホルダー本体(7)が少なくとも一つの目盛(8.1,8.2,8.3)を有する、ことを特徴とするセンサ。

IPC (4)：

G01B 11/00 ,  G01D 5/30 ,  G01D 5/38 ,  H01L 31/12

FI (5)：

G01B 11/00 Z ,  G01D 5/30 E ,  G01D 5/30 R ,  G01D 5/38 A ,  H01L 31/12 E