Pat
J-GLOBAL ID:200903061434569588
感光性樹脂組成物およびそれを用いるパターン形成方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
青山 葆 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998169880
Publication number (International publication number):2000003047
Application date: Jun. 17, 1998
Publication date: Jan. 07, 2000
Summary:
【要約】【課題】 露光時間を短縮し、カラーフィルターや半導体などの生産性を上げるための、感光性樹脂組成物およびそれを用いるパターン形成方法の提供。【解決手段】 a)重量平均分子量10,000以上のポリシラン、およびb)粒径1〜30nmの銀コロイドを含有する感光性樹脂組成物。
Claim (excerpt):
a)重量平均分子量10,000以上のポリシラン、b)粒径1〜30nmの銀コロイドを含有する感光性樹脂組成物。
IPC (4):
G03F 7/075 511
, G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
, G03F 7/004 503
FI (4):
G03F 7/075 511
, G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
, G03F 7/004 503 Z
F-Term (27):
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AB13
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BD20
, 2H025BD23
, 2H025BF30
, 2H025CA00
, 2H025CC02
, 2H025CC03
, 2H025CC08
, 2H025CC20
, 2H025FA06
, 2H025FA17
, 2H025FA37
, 2H048BA19
, 2H048BA62
, 2H091FA02Y
, 2H091FB04
, 2H091FB12
, 2H091FB13
, 2H091FC01
, 2H091FC06
, 2H091FC10
, 2H091LA12
Return to Previous Page