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J-GLOBAL ID：200903061436032921

光学薄膜及びレーザ装置

Inventor： 山下 照夫
Applicant, Patent owner： ホーヤ株式会社
Agent (1)： 阿仁屋 節雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992163043
Publication number (International publication number)：1994003511
Application date： Jun. 22, 1992
Publication date： Jan. 14, 1994
Summary：

【要約】【目的】高繰り返し発振できるレーザ装置の出力ミラーや、レーザビーム強度分布整形用の光学フィルター等として最適な光学薄膜及びその光学薄膜を用いたレーザ装置を提供する。【構成】基板上に重ねて形成した複数の薄膜の最上層及び最下層を除いた薄膜の1つを光学的膜厚分布を有するもので構成し、かつ、他の薄膜の光学的膜厚を適切に選定することにより、その中心部から周縁に至る反射率分布がガウシアン分布を有し、かつ、その分布の裾野にあたる部分の最小反射率が基板の表面反射率より高い光学薄膜であって、反射率分布を任意に設定できるとともに、薄膜内及び薄膜界面での電界強度分布を容易に低減でき、良好なモードパターンのレーザ光を効率よく高繰り返し発振できるレーザ装置の出力ミラーや、レーザビーム強度分布整形用の光学フィルター等として用いることができる光学薄膜及びその光学薄膜を用いたレーザ装置を得た。

Claim (excerpt)：

基板上に屈折率の異なる物質からなる複数の薄膜を重ねて構成された光学薄膜であって、その中心部から周縁に至る反射率分布がガウシアン関数又はスーパーガウシアン関数で表される分布を有し、前記ガウシアン関数又はスーパーガウシアン関数の裾野にあたる部分の最小反射率が前記基板の表面反射率より高いとともに、前記複数の薄膜の最上層及び最下層を除いた薄膜の少なくとも1つの薄膜が中心部から周縁に向かってガウシアン関数又はスーパーガウシアン関数で表される光学的膜厚分布を有している光学薄膜であって、前記複数の薄膜の膜構成が次の(1) 〜(4) のいずれかの一般表記で表される構成を有していることを特徴とした光学薄膜。ただし、表記の意味を次の通りとする。各記号の配列規則;各記号で示される構成要素が表記通りの配列順序で配置されることを表す。Sub;基板を表す。H;高屈折率物質の薄膜を表す。L;低屈折率物質の薄膜を表す。αH;中心波長λ0 に対し、α×λ0 /4の光学的膜厚を有する高屈折率物質の薄膜を表す。αL;中心波長λ0 に対し、α×λ0 /4の光学的膜厚を有する低屈折率物質の薄膜を表す。βH;中心波長λ0 に対し、β×λ0 /4の光学的膜厚を有する高屈折率物質の薄膜を表す。βL;中心波長λ0 に対し、β×λ0 /4の光学的膜厚を有する低屈折率物質の薄膜を表す。Air;空気又は外部を表す。(αHαL)m ;高屈折率物質の薄膜の上に低屈折率物質の薄膜が形成された膜構成を一単位として、その単位膜構成がm回重ねて形成された膜構成を表す。Sub/(αHαL)m ;基板の上に(αHαL)m の膜構成の薄膜が形成されることを表す。x・H;中心部から周縁に向かって光学的膜厚分布を有する高屈折率物質の薄膜を表す。x・L;中心部から周縁に向かって光学的膜厚分布を有する低屈折率物質の薄膜を表す。x=0〜1.0;x・H又はx・Lで表される光学的膜厚分布を有する薄膜の光学的厚さの範囲が所定の厚さに0〜1の係数をかけたものであることを表す。(αHαL)m x・H;(αHαL)m の薄膜の上にx・Hの薄膜形成されることを表す。(βLβH)m ’;低屈折率物質の薄膜の上に高屈折率物質の薄膜が形成された膜構成を一単位として、その単位膜構成がm’回重ねて形成された膜構成を表す。(βLβH)m ’/Air;(βLβH)m ’膜の最上層が空気又は外部と接していることを表す。(1) Sub/(αHαL)m x・H (βLβH)m ’/Airただし、α≠1.00 かつ β≠1.00または、α≠1.00 かつ β=1.00または、α=1.00 かつ β≠1.00かつ、m及びm’が1以上の整数であり、x=0〜1.0とする。(2) Sub/(αHαL)m x・L (βLβH)m ’/Airただし、α≠1.00 かつ β≠1.00または、α≠1.00 かつ β=1.00または、α=1.00 かつ β≠1.00かつ、m及びm’が1以上の整数であり、x=0〜1.0とする。(3) Sub/(αLαH)m x・H (βHβL)m ’/Airただし、α≠1.00 かつ β≠1.00または、α≠1.00 かつ β=1.00または、α=1.00 かつ β≠1.00かつ、m及びm’が1以上の整数であり、x=0〜1.0とする。(4) Sub/(αLαH)m x・L (βHβL)m ’/Airただし、α≠1.00 かつ β≠1.00または、α≠1.00 かつ β=1.00または、α=1.00 かつ β≠1.00かつ、m及びm’が1以上の整数であり、x=0〜1.0とする。

IPC (2)：

G02B 5/08 ,  H01S 3/08