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J-GLOBAL ID：200903061454335184

集積型SPMセンサー

Inventor： 松山 克宏 ,  酒井 信明
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993063547
Publication number (International publication number)：1994273157
Application date： Mar. 23, 1993
Publication date： Sep. 30, 1994
Summary：

【要約】【目的】簡略な構成でカンチレバーのねじれ方向の変位量が検出できる集積型SPMセンサーを提供する。【構成】集積型SPMセンサーにおいて、カンチレバーの歪みに応じて抵抗値の変化するセンサ部を略E字型の形状に形成する。

Claim (excerpt)：

カンチレバーの歪みに応じて抵抗値の変化するセンサ部を有する集積型SPMセンサーであって、前記センサ部の形状が略E字型であることを特徴とする集積型SPMセンサー。

IPC (2)：

G01B 21/30 ,  H01J 37/28