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J-GLOBAL ID：200903061510244715

マイクロアクチュエータ、マイクロアクチュエータの製造方法、電気リレーおよび電磁リレー

Inventor： 乾 哲也 ,  木村 和博 ,  平田 進 ,  石井 頼成 ,  太田 賢司
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 山本 秀策
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992280333
Publication number (International publication number)：1994131960
Application date： Oct. 19, 1992
Publication date： May. 13, 1994
Summary：

【要約】【目的】 低電圧で大きな駆動力が得られる共に、環境温度の変化に対して安定な特性を有し、簡潔な構造でコストダウンに寄与できるマイクロアクチュエータを実現する。【構成】 シリコン単結晶基板1の中央部を薄肉化し、かつ、この部分にL字状のスリット2a、2b、2c、2dおよびコ字状のスリット5a、5bを形成し、これにより回転軸3a、3b、この回転軸3a、3bにより鉛直方向への回転可能に支持された回転部4、先端部7a、7b、7c、7dが回転部の4隅に連設された駆動力発生部6a、6b、6c、6dを残存形成する。この駆動力発生部6a、6b、6c、6dは、回転軸3a、3bの左右両側の対称位置に設けられる。また、シリコン単結晶基板1上に、加熱部10a、10b、10c、10dを有するヒータ回路8a、8bを設ける。加熱部10a、10b、10c、10dと駆動力発生部6a、6b、6c、6dとでバイメタルが構成される。

Claim (excerpt)：

回転軸を中心にしてその両側に形成された回転部と、先端部が該回転部に連結される一方、基端部が該回転部とは異なる部分に固着され、先端部と基端部との間に変形可能になった可動部を有し、該回転軸の両側の対称位置に配設された駆動力発生部と、一部がバイメタル構造で該駆動力発生部の該可動部に重畳され、電圧が印加されると該駆動力発生部を加熱するヒータ部材とを備えたマイクロアクチュエータ。