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J-GLOBAL ID：200903061510988463
液晶表示装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
須山 佐一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991127716
Publication number (International publication number)：1995181514
Application date： May. 30, 1991
Publication date： Jul. 21, 1995
Summary：
【要約】【目的】 点欠陥が発生せず、しかも製造コストの上昇や蓄積容量部におけるショートの発生といった問題がなく、さらに開口率の減少も少ない液晶駆動用半導体装置基板を備えたアクティブマトリックス型の液晶表示装置を提供することを目的とする。【構成】 透明基板13の一主面上に、それぞれに駆動用半導体素子15および蓄積容量が形成された表示用画素群を有する液晶駆動用半導体装置基板を具備してなる液晶表示装置において、前記蓄積容量は、表示電極16と透明基板13の一主面上に設けたTaN から成る蓄積容量金属配線1bとの間に、金属陽極酸化膜18を配置することにより形成されていることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
透明基板の一主面上に、それぞれに駆動用の薄膜トランジスタおよび蓄積容量素子を備えた表示用画素群を有する液晶駆動用半導体装置基板を具備して成る液晶表示装置において、前記蓄積容量素子は、前記透明基板の一主面上に設けたTaと Nを含む金属から成る蓄積容量金属配線、この蓄積容量金属配線の表面に形成された金属陽極酸化膜、およびこの金属陽極酸化膜に接している表示電極により構成されていることを特徴とする液晶表示装置。
IPC (4)：
G02F 1/136 500
, G02F 1/1343
, G09F 9/30 330
, H01L 29/78
Cited by examiner (7)
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