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J-GLOBAL ID：200903061520676311

ガルバノミラーアクチュエータ

Inventor：
廣瀬 健志

About 廣瀬 健志


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998267326
Publication number (International publication number)：2000081588
Application date： Sep. 04, 1998
Publication date： Mar. 21, 2000
Summary：
【要約】【課題】 高精度で高速な動作をメンテナンスフリーで行なうことができかつ小型化も可能なガルバノミラーアクチュエータを提供する。【解決手段】 下面を半円筒面3aに形成した永久磁石3(3p、3q)を反射ミラー1を保持する保持部材2に取り付け、永久磁石3の半円筒面3aを空気膜により回転可能に支持する空気軸受け4をベース部材5に固定するとともに空気軸受け4とベース部材5との間にコイル6を配置し、永久磁石3の磁力により保持部材2を空気軸受け4に付勢するように構成し、永久磁石3による与圧力と空気軸受けによる空気膜を用いて回転部の保持および案内を非接触で行なうことができるようにして、軸受け剛性を高め回転精度を向上させる。これにより、反射光線の角度誤差やオフセットが改善でき、また、微少送り動作から高速揺動動作まで制御性が良好である上、メンテナンスをなんら必要としない。
Claim (excerpt)：
光学部材を回転揺動駆動して光線を反射あるいは回折偏光するガルバノミラーアクチュエータにおいて、光学部材と、該光学部材を保持する保持部材と、該保持部材に一体に設けられた永久磁石と、前記保持部材に一体に設けられた半円筒面と、回転軸の方向と直交する方向に開放されており前記半円筒面を空気膜により回転可能に支持する空気軸受けと、該空気軸受けを保持するベース部材と、該ベース部材に固定されて電磁的に協働して前記光学部材を回転駆動するコイルとから構成され、前記永久磁石により前記保持部材が前記空気軸受けに対して付勢されていることを特徴とするガルバノミラーアクチュエータ。
IPC (2)：
G02B 26/10 104 ,  G11B 7/09
FI (2)：
G02B 26/10 104 ,  G11B 7/09 E
F-Term (9)：
2H045AB03 ,  2H045AB10 ,  2H045AB16 ,  5D118AA13 ,  5D118DC07 ,  5D118EA03 ,  5D118EB02 ,  5D118ED08 ,  5D118FA49
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)
  • 回転鏡装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-289596   Applicant：オセ-ネーデルランドビーブイ
  • マイクロアクチュエータ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-133323   Applicant：富士ゼロックス株式会社
  • 特表平1-500772

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