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J-GLOBAL ID：200903061527353100

基板の濡れ性判定方法、該判定方法に用いられる試薬塗布具及び液晶装置の製造方法

Inventor： 上條 光一
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998272097
Publication number (International publication number)：2000097835
Application date： Sep. 25, 1998
Publication date： Apr. 07, 2000
Summary：

【要約】【課題】 液晶パネルや半導体デバイスの製造ラインの現場において簡便かつ短時間で基板の濡れ性を判定することのできる基板の濡れ性判定方法および該判定方法に用いられる試薬塗布具を提供する。【解決手段】 基板(ガラス基板1)の一部に付着張力の異なるn種類(nは1以上の整数)の液状試薬(2a〜2d)を塗布する塗布過程と、上記基板上における各液状試薬の付着程度を測定する測定過程と、上記測定過程において測定された液状試薬の付着程度に基づいて基板の濡れ性の良否を判定する判定過程とを少なくとも有するようにした。

Claim (excerpt)：

基板の一部に付着張力の異なるn種類(nは1以上の整数)の液状試薬を塗布する塗布過程と、上記基板上における各液状試薬の塗布膜の付着程度を測定する測定過程と、上記測定過程において測定された液状試薬の付着程度に基づいて基板の濡れ性の良否を判定する判定過程と、を少なくとも有することを特徴とする基板の濡れ性判定方法。

IPC (4)：

G01N 13/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/66

FI (4)：

G01N 13/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/66 L

F-Term (17)：

2H088EA02 ,  2H088FA11 ,  2H088FA20 ,  2H088FA25 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H090HC18 ,  2H090HC20 ,  2H090JC18 ,  4M106AA01 ,  4M106BA10 ,  4M106BA20 ,  4M106CA29 ,  4M106DH01 ,  4M106DH12 ,  4M106DH60 ,  4M106DJ32