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J-GLOBAL ID：200903061528520230

非接触式相対変位測定法及び測定装置

Inventor： 小川 博文 ,  石川 雄一 ,  北原 時雄
Applicant, Patent owner： 工業技術院長
Agent (1)： 工業技術院機械技術研究所長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994292343
Publication number (International publication number)：1996128805
Application date： Nov. 01, 1994
Publication date： May. 21, 1996
Summary：

【要約】【目的】 測定点間の距離に比して各測定点の変位が極めて小さい場合でも測定が可能であり、また各測定点間の距離が極めて小さい場合でも良好に測定点の相対変位の測定をすることができる非接触式相対変位測定法及び測定装置を提供すること。【構成】 試験片上の2つの測定点に標識を記し、それぞれの標識を別々に2視野顕微鏡3のそれぞれの視野内に置き、2視野顕微鏡3で形成した2つの標識の画像の相対変位を測定する。

Claim (excerpt)：

試験片上の2つの測定点に標識を記し、それぞれの前記標識を別々に2視野顕微鏡のそれぞれの視野内に置き、前記2視野顕微鏡で形成した前記2つの標識の画像の相対変位を測定することを特徴とする非接触式相対変位測定法。

IPC (3)：

G01B 9/04 ,  G01B 11/02 ,  G01N 3/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭50-099355
  
• 特開昭63-061106
  
• 特開昭63-280211