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J-GLOBAL ID：200903061538756126
微小変位素子及びその製造方法並びにそれを用いた情報処理装置及びトンネル電流検出装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991195002
Publication number (International publication number)：1993018707
Application date： Jul. 10, 1991
Publication date： Jan. 26, 1993
Summary：
【要約】【目的】 基板の厚みによらない精度を保ちつつ、加工精度を高めることの可能な微小変位素子を提供する。【構成】 基板上に、少なくとも圧電体薄膜及び該圧電体薄膜を圧電逆効果により変位させるための電極を有する微小変位素子であって、該微小変位素子の上面自由端部に情報入出力用プローブを設けた微小変位素子において、該基板がZ軸(プローブの垂直方向)に垂直な面を主面とする単結晶水晶基板であることを特徴とする微小変位素子。
Claim (excerpt)：
基板上に、少なくとも圧電体薄膜及び該圧電体薄膜を圧電逆効果により変位させるための電極を有する微小変位素子であって、該微小変位素子の上面自由端部に情報入出力用プローブを設けた微小変位素子において、該基板がZ軸(プローブの垂直方向)に垂直な面を主面とする単結晶水晶基板であることを特徴とする微小変位素子。
IPC (3)：
G01B 7/34
, G11B 9/00
, H01L 41/09
