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J-GLOBAL ID：200903061552745420

異物検出装置

Inventor： 龍田 健
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 石原 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993040999
Publication number (International publication number)：1994258230
Application date： Mar. 02, 1993
Publication date： Sep. 16, 1994
Summary：

【要約】【目的】 透明平板の表面に異物が存在するか否かを、レーザー光の走査によって検出する装置のS/N特性の改善。【構成】 被検査透明平板5の表面を偏向レーザー光12で走査する。これによって透明平板5の表面上に生じた反射光のうち、乱反射光7のみを光ファイバー束8で捕捉し、光電変換素子9で光電変換する。平板載置台10は光走査の方向に交差した方向へ移動し、かつ、透明平板5の裏面に当接する頂面領域に鏡面11を有する。鏡面11の代わりに光吸収体で形成してもよい。【効果】 透明平板5を透過したレーザー光が平板載置台10の頂面で乱反射することがなくなるので、装置のS/N比特性を改善できる。

Claim (excerpt)：

被検査透明平板を載せる平板載置台と、被検査透明平板の表面を光走査するための偏向レーザー光を発生する偏向レーザー光発生器と、光走査によって被検査透明平板の表面上に生じた反射光のうち、乱反射光のみを捕捉できる位置に受光部を置く光電変換器とからなり、前記平板載置台は前記偏向レーザー光発生器および前記光電変換器に対し、前記光走査の方向に交差した方向への相対移動を可とするとともに、前記被検査透明平板の裏面に当接する頂面領域に鏡面を有していることを特徴とする異物検出装置。