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J-GLOBAL ID:200903061570387655

拡大確認装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 森田 寛 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991247212
Publication number (International publication number):1993090364
Application date: Sep. 26, 1991
Publication date: Apr. 09, 1993
Summary:
【要約】【目的】 本発明は,プリント板等の検査結果を拡大鏡で確認する作業に用いる指示機能付きの拡大確認装置に関し,確認作業の効率化と検査員の目の疲労度の低下を目的とする。【構成】 ステレオスコープ1で得られる拡大画像において不良箇所を光で指示するための投光装置6と,不良箇所を光で指示するように投光装置6を制御する座標コントローラ5とを設け,同一視野内に複数の不良箇所が存在する場合に,座標コントローラ5が不良箇所を順次光により指示すると共に,この間X-Yステージコントローラ7が移動しないように構成する。
Claim (excerpt):
確認対象物(3)を載置するためのX-Yステージ(4)と,前記確認対象物(3)の不良箇所についてのデータを格納する検査結果ファイル(9)と,前記データに基づいて,前記不良箇所が所定の位置へ移動するように前記X-Yステージ(4)を制御するX-Yステージコントローラ(7)と,前記所定の位置の不良箇所についての拡大画像を得るためのステレオコープ(1)とを備える拡大確認装置において,前記拡大画像において前記不良箇所を光により指示するための投光装置(6)と,前記データに基づいて,前記不良箇所を前記光が指示するように前記投光装置(6)を制御する座標コントローラ(5)とを備えることを特徴とする拡大確認装置。
IPC (2):
H01L 21/66 ,  G01N 21/88
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 特開平3-186737

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