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J-GLOBAL ID：200903061608454300

ペースト塗布機

Inventor： 石田 茂 ,  三階 春夫 ,  米田 福男 ,  五十嵐 省三
Applicant, Patent owner： 日立テクノエンジニアリング株式会社
Agent (1)： 武 顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994068730
Publication number (International publication number)：1995275770
Application date： Apr. 06, 1994
Publication date： Oct. 24, 1995
Summary：

【要約】【目的】 基板上にペ-ストパターンを描画形成したなら、引き続き、該基板上の描画済みパターンの断面形状や断面積が簡単に確認できて効率的な品質管理が行え、生産性向上に寄与するところ大なるペースト塗布機を提供する。【構成】 ペ-ストパターン形成後に光学式距離計3により基板7の表面の高さを計測し、その計測データを用いて描画済みパターンの塗布高さおよび塗布幅を算出することにより、該パターンの断面形状や断面積がモニタ16に表示されるように構成した。

Claim (excerpt)：

ノズルのペースト吐出口と対向するように基板をテーブル上に載置し、ペースト収納筒に充填したペーストを上記吐出口から上記基板上へ吐出させながら該ノズルと該基板との相対位置関係を変化させ、該基板上に所望形状のペーストパターンを描画形成するペースト塗布機において、上記ノズルのペースト吐出口と上記基板の表面との対向間隔を計測する計測手段と、この計測手段と上記基板とを該基板の表面に沿って相対的に移動させる移動手段と、この相対的移動時における上記計測手段の計測デ-タを用いて描画済みのペーストパターンの塗布高さおよび塗布幅を算出する断面捕捉手段とを備えたことを特徴とするペースト塗布機。

IPC (3)：

B05C 5/00 ,  B05C 5/00 101 ,  B05C 11/00