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J-GLOBAL ID：200903061629000814

トンネル電流を利用した走査型測定装置

Inventor： 黒田 浩史
Applicant, Patent owner： 日立建機株式会社
Agent (1)： 田宮 寛祉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992148746
Publication number (International publication number)：1993322511
Application date： May. 15, 1992
Publication date： Dec. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】 トンネル電流を利用した走査型測定装置において、測定を安定化し、測定精度の高いものとする。【構成】 導電性を有する探針1を試料2の表面に接近させ、探針1と試料2の間にトンネル電流を流し、トンネル電流を利用して探針と試料の間の距離を制御し、試料表面を走査して試料表面の凹凸形状を測定する構成を有し、さらに、探針1の先端部1aに絶縁膜21を設けるように構成される。この絶縁膜21の厚みは、探針と試料が接近するとき、電界蒸発の発生を防止することが可能な厚みである。絶縁膜21の厚みは原子数層分の厚みである。

Claim (excerpt)：

導電性を有する探針を試料の表面に接近させ、探針と試料の間にトンネル電流を流し、トンネル電流を利用して試料の表面を測定する測定装置において、前記探針の先端部に絶縁膜を設けたことを特徴とするトンネル電流を利用した走査型測定装置。

IPC (3)：

G01B 7/34 ,  H01J 37/28 ,  H01L 41/09