試料検査方法及び試料検査装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006328959
Publication number (International publication number)：2008145110
Application date： Dec. 06, 2006
Publication date： Jun. 26, 2008
Summary：

【課題】膜を介して試料に電子線等の一次線を照射して試料検査を行う際に、該一次線の膜への照射による膜の損傷を検知し、これにより圧力差による膜の破壊を防止することのできる試料検査方法及び試料検査装置を提供する。【解決手段】膜4を介して試料520に一次線507を照射する手段501と、該一次線507の照射に応じて該試料520から発生する二次的信号を検出する信号検出手段504とを有する試料検査装置において、該一次線507の照射に応じて得られる該膜4の情報を検出する情報検出手段504と、検出された該膜の情報をモニタするモニタ手段522とを備える。【選択図】図5

Claim (excerpt)：

膜を介して試料に一次線を照射し、これに応じて該試料から発生する二次的信号を検出して該試料の検査を行う試料検査方法において、該一次線の照射に応じて得られる該膜の情報を検出し、これにより検出された該膜の情報をモニタすることを特徴とする試料検査方法。

IPC (4)：

G01N 23/225 , H01J 37/28 , H01J 37/20 , H01J 37/16

FI (4)：

G01N23/225 , H01J37/28 B , H01J37/20 Z , H01J37/16

F-Term (18)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001BA15 , 2G001CA03 , 2G001DA02 , 2G001GA06 , 2G001HA13 , 2G001JA11 , 2G001JA13 , 2G001KA03 , 2G001LA01 , 2G001QA01 , 5C001AA01 , 5C001BB07 , 5C001CC04 , 5C033UU03 , 5C033UU04 , 5C033UU10

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

走査型電子顕微鏡を用いた非真空環境内のサンプルの検査のための装置および方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2002-547196 Applicant：エダリサーチアンドディベロップメントカンパニー,リミティド, エル-マルテクノロジーズリミティド
特開昭47-24961号公報
電子顕微鏡等の試料ホルダ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-005828 Applicant：株式会社蛋白工学研究所, 日本電子株式会社

Cited by examiner (5)

走査型電子顕微鏡を用いた非真空環境内のサンプルの検査のための装置および方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2002-547196 Applicant：エダリサーチアンドディベロップメントカンパニー,リミティド, エル-マルテクノロジーズリミティド
電子顕微鏡の電子線照射量表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-007009 Applicant：日本電子株式会社
サンプルを含む流体のSEM検査のための方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2004-511867 Applicant：クアントミックス・リミテッド

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