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J-GLOBAL ID：200903061660185369

磁気記録媒体用ガラス基板の加工装置

Inventor： 吉野 邦彦 ,  長島 利男 ,  尾城 利一
Applicant, Patent owner： 株式会社相模オプト ,  株式会社ニコン
Agent (1)： 大西 正悟
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997256768
Publication number (International publication number)：1999090813
Application date： Sep. 22, 1997
Publication date： Apr. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】 ラッピング工程での磁気記録媒体用ガラス基板の厚みを短時間で薄く仕上げることができるとともに、砥粒の損失が少ない磁気記録媒体用ガラス基板の加工装置を得る。【解決手段】 上下定盤3,4の砥石保持面3a,4aに所定間隔を有して複数のダイヤモンドペレット1が固着されている。上下のダイヤモンドペレット1において磁気記録媒体用ガラス基板と当接するラップ面1aの面積は、上下定盤3,4の砥石保持面3a,4aの面積に対してほぼ均等に50%以下となるように構成されている。そして、磁気記録媒体用ガラス基板の上面および下面に上下のダイヤモンドペレット1を摺り合わせれば、磁気記録媒体用ガラス基板の上面および下面を同時にラップ加工することができる。

Claim (excerpt)：

上側砥石保持面を有する上側砥石保持定盤と、前記上側砥石保持面上に所定間隔を有して固着された複数の上側砥石と、前記上側砥石保持面に対向する下側砥石保持面を有する下側砥石保持定盤と、前記下側砥石保持面上に所定間隔を有して固着された複数の下側砥石とを有し、磁気記録媒体用ガラス基板の上面および下面に前記上側砥石および前記下側砥石を摺り合わせて、前記磁気記録媒体用ガラス基板の上面および下面を同時にラップ加工することを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板の加工装置。