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J-GLOBAL ID：200903061692034737

光学部材の製造方法、光学部材及びその光学部材を用いた投影露光装置

Inventor： 柴野 秀史
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997173453
Publication number (International publication number)：1999020034
Application date： Jun. 30, 1997
Publication date： Jan. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 光学特性に影響を及ぼさず、極薄で低損失、かつ、均一な汚染防止膜が形成された光学部材、光学部材の製造方法、及びその光学部材を適用した投影露光装置を提供する。【解決手段】 基板上に、240nm〜500nmの波長領域用の光学薄膜を形成して光学部材を作製する工程と、前記光学部材を光洗浄する工程と、前記光洗浄を行った光学部材上に、気相処理により、一端にアルコキシシリル基又はハロゲン化シリル基を有し、他端にフッ化炭素基を有するシラン系化合物の単分子膜を均一に形成する工程と、を具備する240nm〜500nmの波長領域の高出力レーザ又は高出力ランプ用光学部材の製造方法。

Claim (excerpt)：

基板上に、240nm〜500nmの波長領域用の光学薄膜を形成して光学部材を作製する工程と、前記光学部材を光洗浄する工程と、前記光洗浄を行った光学部材上に、気相処理により、一端にアルコキシシリル基又はハロゲン化シリル基を有し、他端にフッ化炭素基を有するシラン系化合物の単分子膜を均一に形成する工程と、を具備する240nm〜500nmの波長領域の高出力レーザ又は高出力ランプ用光学部材の製造方法。

IPC (4)：

B29D 11/00 ,  G02B 1/10 ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/027

FI (4)：

B29D 11/00 ,  G03F 7/20 505 ,  G02B 1/10 Z ,  H01L 21/30 515 D