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J-GLOBAL ID：200903061717022488

表面凹凸像とX線透過像の観察装置及び観察方法

Inventor： 鈴木 美彦 ,  藤崎 久雄 ,  中桐 伸行
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992302187
Publication number (International publication number)：1994148400
Application date： Nov. 12, 1992
Publication date： May. 27, 1994
Summary：

【要約】【目的】 X線透過像と表面凹凸像を同時に観察する。【構成】 針状チップの先端部を有し、先端部にX線透過領域を有する可撓体(21)、可撓体(21)の針状チップ先端部が試料(29)表面に接触可能な位置にありX線透過可能な試料ホルダー(22)、試料ホルダー(22)に設置されたピエゾ素子 (23) 、ピエゾ素子(23)に設置する駆動手段(28)、可撓体(21)に対して光を斜入射可能な位置に設置する光照射手段(30)、可撓体(21)での反射光の受光素子(26)、試料(29)にX線を照射するためのX線発生手段(25)、X線発生手段(25)と試料ホルダー(22)間に配置されたX線集光光学手段(24)、試料(29)を透過した透過X線の透過X線検出手段(27)からなる観察装置。【効果】 X線透過像と表面凹凸像の観察結果の比較、対応が正確に行えるようになった。更に、1台の装置で観察可能なため、作業効率が向上した。

Claim (excerpt)：

針状チップの先端部を有し、前記先端部にX線透過領域を有する可撓体、該可撓体の針状チップ先端部が試料表面に接触可能な位置にありX線透過可能な試料ホルダー、該試料ホルダーに設置されたピエゾ素子、該ピエゾ素子に設置する駆動手段、前記可撓体に対して光を斜入射可能な位置に設置する光照射手段、前記可撓体での反射光の受光素子、前記試料にX線を照射するためのX線発生手段、該X線発生手段と前記試料ホルダー間に配置されたX線集光光学手段、前記試料を透過した透過X線の透過X線検出手段からなる観察装置。

IPC (3)：

G21K 7/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28