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J-GLOBAL ID:200903061758852932
表面形状認識用センサおよびその製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
山川 政樹
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998135036
Publication number (International publication number):1999318864
Application date: May. 18, 1998
Publication date: Nov. 24, 1999
Summary:
【要約】【課題】 センシングの際に発生する静電気によって静電破壊されることなどがないなど、安定して高感度の検出が信頼性の高い状態でできるようにする。【解決手段】 半導体基板101上の下層絶縁膜102上に形成された層間絶縁膜104上に、たとえば80μm角のセンサ電極105、および、アース電極106を備え、センサ電極105を覆うようにパシベーション膜107が形成され、そのパシベーション膜107表面でアース電極106の上部が露出している。
Claim (excerpt):
基板上の同一平面にそれぞれが絶縁分離されて複数配置されたセンサ電極と、このセンサ電極を覆うように形成された絶縁体からなるパシベーション膜と、前記センサ電極に形成された容量を検出する容量検出手段とを備え、少なくとも一部が前記パシベーション膜表面に接触した状態で認識対象の表面が前記センサ電極に対向配置されたときに前記センサ電極に形成された容量により前記認識対象の表面形状を認識する表面形状認識用センサにおいて、前記センサ電極とは絶縁分離されて前記認識対象の表面に接触するようにその一部が前記パシベーション膜表面で露出して前記基板上に形成されたアース電極を備え、前記容量検出手段は、そのアース電極と前記センサ電極それぞれとの間の容量を検出するように構成されたことを特徴とする表面形状認識用センサ。
IPC (2):
FI (2):
A61B 5/10 322
, G06F 15/64 G
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (5)
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特開平4-231803
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座標入力装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-014332
Applicant:アルプス電気株式会社
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電界指紋センサ装置および関連方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-012980
Applicant:ハリス・コーポレーション
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指紋検知装置及びこれを組み込んだシステム
Gazette classification:公表公報
Application number:特願平9-538688
Applicant:フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ
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静電容量検出方式の指紋画像入力装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-189246
Applicant:日本電気株式会社
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