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J-GLOBAL ID:200903061791514880

顕微鏡装置の自動焦点検出方法及び自動焦点検出装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 春日 讓
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1990406815
Publication number (International publication number):1994186469
Application date: Dec. 26, 1990
Publication date: Jul. 08, 1994
Summary:
【要約】【目的】 自動焦点検出において、ソフト的な処理を利用して合焦点位置から離れた対物レンズの周辺移動領域におけるノイズ耐量を向上し、合焦点位置の検出条件をノイズに対して強くし、正確な合焦点位置検出を行う。【構成】 対物レンズの移動に対応して生じる焦点信号に基づき合焦点位置を検出するに当り、対物レンズの周辺移動領域では1ステップ移動量を大きくするか、又は焦点信号を平均化処理をして利用するか、又は焦点信号に生じるピークにおいて合焦点位置判定条件を厳しくする。またこれらの方法をソフト的に実現する。
Claim (excerpt):
観察ステージ上の標本と対物レンズとの距離を変更するため前記対物レンズを1ステップごと移動させ、前記対物レンズの移動した各位置にて前記対物レンズで得られる前記標本の光学像を光電変換して得られる電気信号に基づき焦点信号を生成し、この焦点信号の状態に基づいて前記対物レンズの前記移動を行い且つ合焦点位置であるか否かを判定し、求められた合焦点位置に前記対物レンズを静止させる顕微鏡装置の自動焦点検出方法において、前記対物レンズの1ステップの移動量について、前記合焦点位置から離れた移動領域では前記1ステップの移動量を大きくし、前記合焦点位置に近い移動領域では1ステップの移動量を小さくしたことを特徴とする顕微鏡装置の自動焦点検出方法。
IPC (2):
G02B 7/28 ,  G02B 21/26

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