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J-GLOBAL ID：200903061792260459
荷電粒子線照射装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995114802
Publication number (International publication number)：1996315761
Application date： May. 12, 1995
Publication date： Nov. 29, 1996
Summary：
【要約】【目的】 コンデンサレンズをアパーチャ径に合わせて設定する際の手間を軽減できる走査型電子顕微鏡等の荷電粒子線照射装置を提供する。【構成】 電子線を集束させるコンデンサレンズ3,4と、コンデンサレンズ3,4の励磁電流を設定するレンズ電源20,21と、コンデンサレンズ20,21から射出された電子線を整形するアパーチャ7aとを具備する走査型電子顕微鏡において、アパーチャ7aの径の実際値を測定する測長機構5,10〜15と、アパーチャ7aの径とレンズ設定手段20,21の物理量の最適値との相関関係を示す情報を記憶するメモリ17とを設ける。
Claim (excerpt)：
荷電粒子線を集束させるコンデンサレンズと、前記コンデンサレンズの集束作用を支配する物理量を設定するレンズ設定手段と、前記コンデンサレンズから射出された荷電粒子線を整形するアパーチャと、を具備する荷電粒子線照射装置において、前記アパーチャの径の実際値を測定する測長手段と、前記アパーチャの径と前記レンズ設定手段の前記物理量の最適値との相関関係を示す情報を記憶する記憶手段と、を設けたことを特徴とする荷電粒子線照射装置。
IPC (4)：
H01J 37/141
, H01J 37/21
, H01J 37/244
, H01J 37/28
H01J 37/141 Z
, H01J 37/21 B
, H01J 37/244
, H01J 37/28 Z
