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J-GLOBAL ID：200903061805834107

廃液晶パネルの処理方法及びその処理装置

Inventor： 藤沢 龍太郎 ,  新井 義明 ,  天海 泰成 ,  山縣 三郎
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 須田 正義
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000202155
Publication number (International publication number)：2002023126
Application date： Jul. 04, 2000
Publication date： Jan. 23, 2002
Summary：

【要約】【課題】より簡便な方法で液晶パネルの有機物を安全かつ確実に処理する。【解決手段】 廃液晶パネル10をチャンバ21に配置し、チャンバ21内の圧力を0〜40kPa、温度を200〜400°Cにして、廃液晶パネル10を構成する有機物をガス化する。廃液晶パネル10をパネルを構成する二枚のガラス基板11,11を破砕した状態でチャンバ21内に配置する。チャンバ21内にキャリアガスを導入し、ガス化した有機物をチャンバ21外に排出する。チャンバ21外に排出した有機ガスを有機ガス分解装置に導入してこの分解装置で無機ガスと水に分解する。有機ガスの分解したガスに含まれる有機成分をガスセンサ27で検出し、ガスセンサ27で検出されたガス中の有機成分の濃度が所定値以上であるとき、分解したガスを有機ガス分解装置にフィードバックする。

Claim (excerpt)：

廃液晶パネル(10)をチャンバ(21)に配置し、前記チャンバ(21)内を減圧しかつ加熱して、前記廃液晶パネル(10)を構成する有機物をガス化することを特徴とする廃液晶パネルの処理方法。

IPC (8)：

G02F 1/13 101 ,  B01D 53/34 ,  B01D 53/81 ,  B09B 3/00 ZAB ,  B09B 3/00 302 ,  G02F 1/1333 500 ,  B01D 53/86 ZAB ,  B01J 35/02

FI (8)：

G02F 1/13 101 ,  B09B 3/00 302 Z ,  G02F 1/1333 500 ,  B01J 35/02 J ,  B01D 53/34 A ,  B01D 53/34 Z ,  B09B 3/00 ZAB ,  B01D 53/36 ZAB J

F-Term (56)：

2H088FA18 ,  2H088FA22 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H090JC20 ,  4D002AA40 ,  4D002AC10 ,  4D002BA04 ,  4D002BA05 ,  4D002BA07 ,  4D002CA07 ,  4D002DA41 ,  4D002EA02 ,  4D004AA21 ,  4D004AB05 ,  4D004AC05 ,  4D004CA04 ,  4D004CA27 ,  4D004CB31 ,  4D004CB50 ,  4D004CC01 ,  4D048AA17 ,  4D048AB03 ,  4D048BA03Y ,  4D048BA06Y ,  4D048BA07X ,  4D048BA23Y ,  4D048BA25Y ,  4D048BA26Y ,  4D048BA28Y ,  4D048BA30Y ,  4D048BA33Y ,  4D048BA35Y ,  4D048BA36Y ,  4D048BA41X ,  4D048BA41Y ,  4D048CA03 ,  4D048CC25 ,  4D048CC27 ,  4D048CC38 ,  4D048CD10 ,  4D048DA01 ,  4D048DA02 ,  4D048DA05 ,  4D048DA08 ,  4D048EA01 ,  4G069AA03 ,  4G069BA48A ,  4G069BB02A ,  4G069BB04A ,  4G069BC29A ,  4G069CA04 ,  4G069CA07 ,  4G069CA10 ,  4G069CA11 ,  4G069DA06