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J-GLOBAL ID：200903061835950705
プラズマ発生装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
上島 淳一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996139515
Publication number (International publication number)：1997306696
Application date： May. 09, 1996
Publication date： Nov. 28, 1997
Summary：
【要約】【課題】一対の平板電極の電極主面間に発生する電界強度の分布を均一化するようにして、一対の平板電極の電極主面間においてほぼ一様の電界強度を得ることができるようにしたプラズマ発生装置を提供する。【解決手段】所定の間隔で電極主面10a,12a同士を対向して配置した一対の平板電極10、12を有し、電極主面10a,12a間の空間にプラズマ放電を励起させるプラズマ発生装置において、一対の平板電極10の接続点P、Qに給電線18を接続するようにした。
Claim (excerpt)：
所定の間隔で電極主面同士を対向して配置した一対の平板電極を有し、前記電極主面間の空間にプラズマ放電を励起させるプラズマ発生装置において、前記一対の平板電極の少なくとも一方の複数の位置に、給電線を接続するようにしたことを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (4)：
H05H 1/46
, C23C 16/50
, G11B 23/033 601
, G11B 23/033 602
H05H 1/46 M
, C23C 16/50
, G11B 23/033 601 Z
, G11B 23/033 602 Z
