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J-GLOBAL ID：200903061861260741

sp3 結合型窒化ホウ素の製造方法

Inventor： 松本精一郎
Applicant, Patent owner： 科学技術庁無機材質研究所長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996184097
Publication number (International publication number)：1998007409
Application date： Jun. 25, 1996
Publication date： Jan. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】 気相反応として、sp3 結合型窒化ホウ素の新しい製造法を提供する。【解決手段】 気相中で、基板表面、基板上の成長表面あるいは成長空間に赤外線を照射してsp3 結合型窒化ホウ素を製造する。

Claim (excerpt)：

反応容器中にガス状原料物質としてのホウ素源並びに窒素源を導入し、sp3 結合型窒化ホウ素を成長させる製造方法であって、基板表面、基板上の成長表面および成長空間の少くともいずれかに赤外線を照射して成長させることを特徴とするsp3 結合型窒化ホウ素の製造方法。

IPC (5)：

C01B 21/064 ,  C23C 14/22 ,  C23C 16/38 ,  H01L 21/205 ,  B23B 27/14

FI (5)：

C01B 21/064 J ,  C23C 14/22 F ,  C23C 16/38 ,  H01L 21/205 ,  B23B 27/14 B