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J-GLOBAL ID：200903061879330127

研磨加工方法

Inventor： 坂井 裕一 ,  小寺 直
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 宮田 金雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998010517
Publication number (International publication number)：1999214339
Application date： Jan. 22, 1998
Publication date： Aug. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】 軟質の研磨布を用いても高精度の平坦性を得ることができる研磨加工方法を提供する。【解決手段】 ウエハ22の研磨層の表面を研磨布19上に研磨剤24を供給しながら押圧し、ウエハ22および研磨布19を相対運動させながら研磨層を研磨して平坦化させる研磨方法において、研磨剤24に合成樹脂の径が0.1μm〜1μmの粒子25を添加する。

Claim (excerpt)：

ウエハの研磨層の表面を研磨布上に研磨剤を供給しながら押圧し、上記ウエハおよび研磨布を相対運動させながら上記研磨層を研磨して平坦化させる研磨方法において、上記研磨剤に合成樹脂の径が0.1μm〜1μmの粒子を添加したことを特徴とする研磨加工方法。

IPC (4)：

H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304 621 ,  B24B 37/00 ,  C09K 3/14 550

FI (4)：

H01L 21/304 622 B ,  H01L 21/304 621 D ,  B24B 37/00 H ,  C09K 3/14 550 C