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J-GLOBAL ID：200903061889889831

膜型圧電セラミック素子およびその製造方法

Inventor： 永原 英知 ,  雨宮 清英 ,  塩屋 和秀 ,  井垣 恵美子 ,  棚橋 正和
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 池内 寛幸 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000168117
Publication number (International publication number)：2001352111
Application date： Jun. 05, 2000
Publication date： Dec. 21, 2001
Summary：

【要約】【課題】膜部と基盤を一体成形でき、膜型素子の形状を自在に制御することが可能である膜型圧電セラミック素子およびその製造方法を提供する。【解決手段】少なくとも2つの電極5を有する膜型圧電セラミック素子1の膜部4を、シート状の圧電前駆材を基盤に接合・焼結させて一体形成する。また膜部と基盤の焼結時の収縮率を変えること、膜部に収縮率の分布を持たせることで任意の形状の膜部を高精度に形成できる。

Claim (excerpt)：

基盤部と、基盤部に固定された膜部と、前記膜部に形成された少なくとも二つの電極を有し、前記基盤部と膜部及び電極は焼結により一体成形したことを特徴とする膜型圧電セラミック素子。

IPC (5)：

H01L 41/09 ,  G01L 1/16 ,  H01L 41/22 ,  B06B 1/06 ,  H02N 2/00

FI (8)：

G01L 1/16 A ,  G01L 1/16 C ,  B06B 1/06 Z ,  H02N 2/00 B ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/08 J ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/22 Z

F-Term (6)：

5D107AA12 ,  5D107AA13 ,  5D107BB20 ,  5D107CC02 ,  5D107CC03 ,  5D107CC12