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J-GLOBAL ID：200903061951696778

レジスト膜画像の除去方法、及びそれに用いる硬化型感圧性接着剤あるいは接着シート類

Inventor： 木原 康夫 ,  並河 亮 ,  相澤 馨 ,  下段 秀明 ,  中沢 準
Applicant, Patent owner： 日東電工株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992297070
Publication number (International publication number)：1994151300
Application date： Nov. 06, 1992
Publication date： May. 31, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、半導体、回路、各種プリント基板、各種マスク、リードフレームなどの各種微細加工部品の製造時におけるレジスト膜画像を形成する工程において、レジスト材からなる画像を除去する方法、及びこれに用いる硬化型感圧接着剤、あるいはそのシート状物、テープ状物などの接着シート類を提供する。【構成】 レジスト材からなる画像が存在する物品上に、レジスト材との親和性が良好な不揮発性酸系化合物を含有させてなる硬化型感圧性接着剤、もしくは不飽和二重結合を有するスルホン酸系モノマーを共重合してなる硬化型感圧性接着剤を用いた接着シート類を貼り付け、上記接着剤の硬化後に、この接着シート類とレジスト材とを一体に剥離する。

Claim (excerpt)：

レジスト材からなる画像が存在する物品上に、レジスト材との親和性が良好な不揮発性酸系化合物を含有させてなる硬化型感圧性接着剤を用いた接着シート類を貼り付け、上記接着剤の硬化後に、この接着シート類とレジスト材とを一体に剥離することを特徴とするレジスト膜画像の除去方法。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  C09J133/10 JDE ,  G03F 7/42