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J-GLOBAL ID：200903061963277916

基板検査用X線カメラおよびX線基板検査装置ならびにX線基板検査方法

Inventor： 本郷 英男
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 松村 博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998029876
Publication number (International publication number)：1999231056
Application date： Feb. 12, 1998
Publication date： Aug. 27, 1999
Summary：

【要約】【課題】 CCDセンサへのX線の直接の照射線量を軽減させて、CCDセンサの焼付現象の発生を抑え、CCDセンサの寿命を向上させる。【解決手段】 X線源1から基板2に照射したX線において、基板2を透過したX線をろ過板4に入射して軟X線をろ過し、ろ過板4からのX線をシンチレータ5が可視光に変換し、この可視光を反射プリズム10で偏向して、シンチレータ5を透過するX線を避ける位置に配置されたCCDセンサ6に入射させる。このとき、シンチレータ5によって可視光に変換されなかったX線は反射プリズム10を透過するため、CCDセンサ6は可視光のみを受光するようになる。

Claim (excerpt)：

X線を可視光に変換する波長変換手段と、この波長変換手段を透過するX線を避ける位置に配置された電荷結合素子と、前記波長変換手段からの可視光を偏向して前記電荷結合素子に導く偏向手段とを備えたことを特徴とする基板検査用X線カメラ。

IPC (4)：

G01T 1/00 ,  G01N 23/04 ,  G01T 1/20 ,  G21K 4/00

FI (4)：

G01T 1/00 D ,  G01N 23/04 ,  G01T 1/20 C ,  G21K 4/00 A