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J-GLOBAL ID：200903061971557880
平面モータ装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高橋 敬四郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994188096
Publication number (International publication number)：1996051756
Application date： Aug. 10, 1994
Publication date： Feb. 20, 1996
Summary：
【要約】【目的】 小型で超精密な位置決め精度、高精度な軌跡追従精度を有するステージ装置を実現するのに適した駆動方式として平面モータ装置を提供する。【構成】 ステージ部材を支持部材に対して相対的に所定面内の所定の可動領域内で移動させる平面モータ装置であって、ステージ部材に取り付けられ、所定面の法線方向に磁束を発生させる複数の永久磁石を極性が交互に現れるように配列した複数の磁石列と、複数の磁石列のそれぞれに対向して支持部材に取り付けられ、磁束と係合し、対向する磁石列の配列方向と直交する方向の長さが対向する磁石列の幅よりも長く形成され、対向する磁石列の配列方向と平行な軸方向を有する複数のコイルを含んで構成された複数のコイル群とを有し、ステージ部材が可動領域内にあるとき、複数の磁石列と、磁石列に対向するコイル群とが、常に相互に交差するように配置されている。
Claim (excerpt)：
対象物を載置するためのステージ部材を、基準となる支持部材に対して相対的に所定面内の所定の可動領域内で移動させる平面モータ装置であって、前記ステージ部材と前記支持部材のうちの一方に取り付けられ、前記所定面に対してほぼ垂直な方向に磁束を発生させる複数の同等の永久磁石を、極性が交互に現れるように直線状に配列した複数の磁石列と、前記磁石列の複数の永久磁石を結合するヨークと、前記ステージ部材と前記支持部材のうちの他方に前記複数の磁石列のそれぞれに対向して取り付けられ、前記磁束と係合し、対向する磁石列の配列方向とほぼ直交する方向の長さが対向する磁石列の幅よりも長く形成され、対向する磁石列の配列方向とほぼ平行な軸方向を有する複数のコイルを含んで構成された複数のコイル群とを有し、前記ステージ部材が前記可動領域内にあるとき、前記複数の磁石列と、それぞれの磁石列に対向するコイル群とが、常に相互に交差するように配置されている平面モータ装置。
IPC (2)：
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