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J-GLOBAL ID：200903061975848536

狭帯域エキシマレーザの作動範囲を選択するためのプロセス

Inventor： パラシュ ピー ダス
Applicant, Patent owner： サイマー インコーポレイテッド
Agent (1)： 中村 稔 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998234576
Publication number (International publication number)：1999163473
Application date： Aug. 20, 1998
Publication date： Jun. 18, 1999
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 狭帯域エキシマレーザの作動範囲を選択するプロセスを提供する。【解決手段】 狭帯域KrF又はArFエキシマレーザに関する作動範囲を選択するプロセスでレーザは、所望のパルスエネルギのために必要なチャージ電圧が所定の最大範囲又はその付近となるように、フッ素濃度が減少するまで、所望のパルスエネルギで作動する。平均チャージ電圧、平均線幅等を記録し、フッ素濃度を見積り又は測定する。所望のパルスエネルギを提供するのに必要なチャージ電圧を測定可能に減少させるために少なくとも十分なフッ素の量を注入し、別のデータのセットを記録する。別の同様な量のフッ素を注入し、別のデータのセットを記録する。データは、区分するためにプロットされ、区分基準は、レーザのユーザの必要性に基づいて決められる。殆どの用途に関して、最適作動範囲は、総電圧範囲の20%の電圧範囲であり、最小作動範囲と最大作動範囲のいずれにも近くない。

Claim (excerpt)：

A.所望のパルスネエネルギを選択し、B.チャージ電圧が所定の最大レンジ又は最大レンジ付近となるように、フッ素濃度が十分に減少するまで、消耗のパルスエネルギでレーザを作動させ、C.チャージ電圧、エネルギシグマ、少なくとも30パルスの間の平均線幅の値を記録し、フッ素濃度を測定又は見積り、D.必要なチャージ電圧における測定可能な減少が所望のパルスエネルギを提供することができるように少なくとも十分な量のフッ素を注入し、E.ステップCを繰り返し、F.チャージ電圧が所定の最小範囲又は所定の最小範囲付近になるまで、ステップD及びCを繰り返し、G.記録されたチャージ電圧値、エネルギシグマ、平均線幅、及び、チャージ電圧の最適作動範囲を選択するためのフッ素濃度の値を利用する、ステップを有する、最適フッ素濃度、チャージ電圧、線幅、及び、エネルギシグマに関する狭帯域エキシマレーザのための作動範囲を選択するプロセス。

IPC (4)：

H01S 3/225 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 521 ,  H01S 3/097

FI (4)：

H01S 3/223 E ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 521 ,  H01S 3/097 Z