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J-GLOBAL ID：200903061989565197
微粒子検出装置のダイオードアレイ受光器
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
梶山 佶是 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991223343
Publication number (International publication number)：1993040086
Application date： Aug. 08, 1991
Publication date： Feb. 19, 1993
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 微粒子検出装置において、受光系の集光レンズの球面収差により、受光面に生ずる焦点ボケによる微粒子の計測誤差を防止できるダイオードアレイ受光器を提供する。【構成】 集光レンズ151 の球面収差により、ダイオードアレイ152 の受光面に生ずる焦点ボケ量Bの大きさに対応して、受光系15の光軸Oより外方の位置にある単位セルCほど、長さ寸法[C]を大きくする。【効果】 目的がほぼ達成され、高価な集光レンズを使用することなく受光系が経済的に構成できる。
Claim (excerpt)：
検出セル内に噴射された断面が長方形のサンプルエアに対して、該長方形の長辺の方向にレーザビームを直交して検出領域を構成し、該検出領域の側方に、集光レンズと複数個の単位セルを有するダイオードアレイ受光器とよりなる受光系を配設し、該受光系により前記検出領域における散乱光を受光し、前記サンプルエアに含まれた微粒子を検出する微粒子検出装置において、前記集光レンズの球面収差により、前記ダイオードアレイ受光器の受光面に生ずる前記散乱光の焦点ボケ量の大きさに対応して、前記受光系の光軸より外方の位置にある前記単位セルほど、その長さ寸法を大きくしたことを特徴とする、微粒子検出装置のダイオードアレイ受光器。
IPC (3)：
G01N 15/14
, G01J 1/02
, G01J 1/04
