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J-GLOBAL ID：200903061992570940

固体撮像装置およびその製造方法

Inventor： 野村 徹
Applicant, Patent owner： 松下電子工業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992046739
Publication number (International publication number)：1993067762
Application date： Mar. 04, 1992
Publication date： Mar. 19, 1993
Summary：

【要約】【目的】 受光感度を向上させる。【構成】 固体撮像装置基板1上の受光部2上の目的とする位置にカラーフィルター層3が形成されている。そのカラーフィルター層3上は、耐エッチング性材料層9と透明材料層4とにより薄膜で平坦化されている。そして平坦化後の透明材料層4上に断面形状が半円状もしくは半円状に近い形状のマイクロレンズ層5が形成されている。これによってカラーフィルター表面が薄膜で平坦化され、受光部2とマイクロレンズ層5との距離が大きくならない。そのため焦点距離を適切にすることができて、かつマイクロレンズ形状が半円状であるため、固体撮像装置の受光感度の向上した固体撮像装置が実現する。

Claim (excerpt)：

固体撮像装置基板上のフィルター層上に形成された耐エッチング性材料層と、前記耐エッチング性材料層上に形成された表面が平坦でかつ薄膜状の透明材料層と、前記透明材料層上に断面形状で半円状もしくは半円状にきわめて近い形状のマイクロレンズとを有することを特徴とする固体撮像装置。

IPC (2)：

H01L 27/14 ,  G02B 3/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平1-246505
  
• 特開昭61-206242
  
• 特開平1-309370
  
• 特開平3-218067