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J-GLOBAL ID：200903062060527130

照明光学装置

Inventor： 山元 規彰
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 山口 孝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996355200
Publication number (International publication number)：1998189428
Application date： Dec. 20, 1996
Publication date： Jul. 21, 1998
Summary：

【要約】【課題】 照度分布の均一性を損なうことなく、テレセントリシティの補正を行うことのできる照明光学装置。【解決手段】 光源からの光束に基づいて二次光源を形成する二次光源形成手段(1、2)と、二次光源からの光束に基づいて多数の光源像を形成する多光源像形成手段(32)と、多数の光源像からの光束を集光して被照射面Rをテレセントリックに照明するコンデンサー光学系(34、35)と、二次光源の位置と多数の光源像の位置とを共役にするリレー光学系(31)とを備えている。そして、二次光源とリレー光学系と多光源像形成手段とは一体的に移動可能である。

Claim (excerpt)：

光源からの光束に基づいて多数の光源像を形成するための多光源像形成手段と、前記多光源像形成手段を介して形成された前記多数の光源像からの光束を集光して被照射面をテレセントリックに照明するためのコンデンサー光学系と、前記光源の位置と前記多光源像形成手段を介して形成される前記多数の光源像の位置とを共役にするためのリレー光学系とを備え、前記被照射面での照度分布の均一性を損なうことなく、前記多光源像形成手段への入射光束の強度分布の不均一性に起因するテレセントリシティのずれを補正するために、前記光源と前記リレー光学系と前記多光源像形成手段とは光軸方向または光軸に垂直な方向に沿って一体的に移動可能であることを特徴とする照明光学装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  F21V 8/00 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 521

FI (5)：

H01L 21/30 527 ,  F21V 8/00 B ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D