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J-GLOBAL ID：200903062071573592

感光性耐熱性樹脂前駆体組成物

Inventor： 富川 真佐夫 ,  吉田 智之 ,  三浦 康男
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997354757
Publication number (International publication number)：1999181089
Application date： Dec. 24, 1997
Publication date： Jul. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】幅広い範囲のアルカリ水溶液で現像でき、かつ感度が高く、未露光部の膜減りも少ないポジ型の感光性耐熱性樹脂前駆体組成物を得ることができるポジ型の感光性耐熱性樹脂前駆体組成物を得る。【解決手段】 一般式(1)で表されるポリマーを特徴とする感光性耐熱性樹脂前駆体組成物。【化1】(式中、R1は炭素数2から30までの2価の有機基、R2は炭素数6から40までの3価から6価の有機基、R3はナフトキノンジアジドスルホニル基を少なくとも全体の10から50モル%含み、残りは水素原子、nは10から100000までの整数、pは1から4までの整数である。)

Claim (excerpt)：

一般式(1)で表されるポリマーを特徴とする感光性耐熱性樹脂前駆体組成物。【化1】(式中、R1は炭素数2から30までの2価の有機基、R2は炭素数6から40までの3価から6価の有機基、R3はナフトキノンジアジドスルホニル基を少なくとも全体の10から50モル%含み、残りは水素原子、nは10から100000までの整数、pは1から4までの整数である。)

IPC (5)：

C08G 73/10 ,  C08G 73/22 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/023 501 ,  G03F 7/039

FI (5)：

C08G 73/10 ,  C08G 73/22 ,  C08L 79/08 A ,  G03F 7/023 501 ,  G03F 7/039

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-031862
  
• 特開平4-031860
  
• 特開平3-058048