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J-GLOBAL ID：200903062096985151
球状デバイス露光装置及び製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997100178
Publication number (International publication number)：1998294254
Application date： Apr. 17, 1997
Publication date： Nov. 04, 1998
Summary：
【要約】【課題】 球状デバイス材料の球面の広い領域に対し高スループットで回路パターンを転写すること。【解決手段】 球状デバイス材料の球面に対応した回路パターンを備え、球状デバイス材料の球面に前記回路パターンを全球面の半分以上の領域に渡って一括露光する手段を有すること。又、球状デバイス材料の球面に対応した回路パターンを備える段階と、球状デバイス材料の球面に前記回路パターンを全球面の半分以上の領域に渡って一括露光する段階を有すること。
Claim (excerpt)：
球状デバイス材料の球面に対応した回路パターンを備え、球状デバイス材料の球面に前記回路パターンを全球面の半分以上の領域に渡って一括露光する手段を有することを特徴とする球状デバイス露光装置。
FI (2)：
H01L 21/30 528
, H01L 21/30 514 C
