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J-GLOBAL ID：200903062099414279

オゾン発生器

Inventor： 馬場 優子 ,  稲葉 道彦 ,  高瀬 格
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999371557
Publication number (International publication number)：2001180916
Application date： Dec. 27, 1999
Publication date： Jul. 03, 2001
Summary：

【要約】【課題】放電管を容易に洗浄することが可能なオゾン発生器を提供すること。【解決手段】タンク1と、このタンク1内に原料ガスを供給すると共に生成されたオゾンガスを流出させる配管系11,12と、タンク1内に設けられ前記原料ガスに放電現象を作用させてオゾンガスを発生させる放電管10Aとを有するオゾン発生器において、前記原料ガスの前記配管系11,12を介するタンク1内への供給を止め且つタンク1内からのオゾンガスの流出を止めると共にタンク1内にアルゴンガスを供給してアルゴンガスパージを実施するアルゴンガスパージ系16,17,18,19を具備する。

Claim (excerpt)：

原料ガスの供給と生成されたオゾンガスの流出が行われるタンクと、このタンク内に設けられ前記原料ガスに放電現象を作用させてオゾンガスを発生させる放電管とを有するオゾン発生器において、前記原料ガスの前記タンク内への供給を止め且つ前記タンク内からのオゾンガスの流出を止めると共に前記タンク内にアルゴンガスを供給してアルゴンガスパージを実施するアルゴンガスパージ手段を具備することを特徴とするオゾン発生器。

IPC (5)：

C01B 13/11 ,  C02F 1/50 531 ,  C02F 1/50 540 ,  C02F 1/50 550 ,  C02F 1/78 ZAB

FI (5)：

C01B 13/11 Z ,  C02F 1/50 531 R ,  C02F 1/50 540 A ,  C02F 1/50 550 D ,  C02F 1/78 ZAB

F-Term (8)：

4D050AA03 ,  4D050AB06 ,  4D050AB07 ,  4D050BB02 ,  4D050BD04 ,  4G042CA01 ,  4G042CC10 ,  4G042CC15