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J-GLOBAL ID：200903062100847435
回路測定用端子およびその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992008373
Publication number (International publication number)：1993198636
Application date： Jan. 21, 1992
Publication date： Aug. 06, 1993
Summary：
【要約】【目的】この発明の目的は、パッドが狭ピッチ、小サイズとなり、且つ、パッド数が増大した場合においても、確実に測定用端子をパッドに接触する。【構成】基板41上に針状結晶49を成長させ、この針状結晶49の表面に金50を設けるとともに、針状結晶49の表面に設けられた金50と接続された配線パターン42を設け、測定用端子51を形成している。これら針状結晶49や配線パターン42等は、LSIの微細加工プロセスに用いられるリゾグラフやドライエッチング等の技術を使用して形成できるため、従来のプローブカードに比べて飛躍的に微細化することができる。したがって、パッドの数が増大したり、パッド相互のピッチが狭まった場合においても十分対応できる。
Claim (excerpt)：
基板表面から成長された針状結晶と、この針状結晶の表面に設けられた導電性金属と、前記基板表面に設けられ、前記導電性金属と接続された配線パターンと、を具備することを特徴とする回路測定用端子。
Patent cited by the Patent：
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