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J-GLOBAL ID：200903062103438234

光学素子の製造方法

Inventor：
秋山 貴之

About 秋山 貴之


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (2)： 古谷 史旺 ,  森 俊秀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005332888
Publication number (International publication number)：2007136822
Application date： Nov. 17, 2005
Publication date： Jun. 07, 2007
Summary：
【課題】 本発明は、光学特性の正確なポリマー多層膜を製造することを目的とする。【解決手段】 本発明の製造方法は、屈折率の異なるポリマー材料を積層し、n層(n≧2)からなるポリマー多層膜を形成する製造方法であって、次の工程を少なくとも備える。まず、m層(1≦m<n)の積層を完了した中間段階で、積層済みのポリマー多層膜について光学特性を測定する。この測定された光学特性に基づいて、ポリマー多層膜の最終的な特性誤差を軽減する方向に、これから形成するポリマー膜の厚さを調整する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
屈折率の異なるポリマー材料を積層し、n層(n≧2)からなるポリマー多層膜を形成する製造方法であって、 m層(1≦m<n)の積層を完了した中間段階で、積層済みの前記ポリマー多層膜について光学特性を測定する測定工程と、 測定された前記光学特性に基づいて、前記ポリマー多層膜の最終的な特性誤差を軽減する方向に、これから形成するポリマー膜の厚さを調整する設計調整工程と を備えたことを特徴とする光学素子の製造方法。
IPC (3)：
B29D 11/00 ,  G02B 5/28 ,  G02B 1/11
FI (3)：
B29D11/00 ,  G02B5/28 ,  G02B1/10 A
F-Term (18)：
2H048GA05 ,  2H048GA12 ,  2H048GA33 ,  2H048GA60 ,  2H048GA62 ,  2K009AA05 ,  2K009CC21 ,  2K009CC38 ,  2K009DD02 ,  2K009DD09 ,  2K009EE00 ,  4F213AH73 ,  4F213AP20 ,  4F213AR12 ,  4F213WA03 ,  4F213WA12 ,  4F213WA43 ,  4F213WB01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)

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