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J-GLOBAL ID：200903062133667750

半導体製造装置

Inventor： 油谷 幸則
Applicant, Patent owner： 国際電気株式会社
Agent (1)： 油井 透 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997134821
Publication number (International publication number)：1998326818
Application date： May. 26, 1997
Publication date： Dec. 08, 1998
Summary：

【要約】【課題】 カセットステージでカセットの並列処理化を行なうようにして、スループットを向上させ、外部カセット搬送手段(AGV)の稼働率をあげる。【解決手段】 カセットステージ20を2段構成にして上下移動可能とする。ステージ20を上方移動して下段カセットステージ21を外部カセット搬送手段34からアクセス可能位置に持ってくると共に、上段カセットステージ22をカセットローダのアクセス可能位置に持ってくる。下段カセットステージ21へのカセット3、4の投入中に、処理済みカセット1、2をステージ22へ取り出す。ステージ20を下方に移動して、投入カセット3、4を載せたステージ21をオリフラ合わせ機13に近づけると共に、ステージ22の処理済みカセット1、2を外部カセット搬送手段34のアクセス可能位置に持ってくる。投入カセット3、4のオリフラ合わせ中、プロセス処理済みカセット1、2の払出しを行う。

Claim (excerpt)：

外部カセット搬送手段から装置内に投入される投入カセットをカセットステージに載せて、投入カセット内のウェーハの位置決めを行なった後、カセットローダにより投入カセットを装置内に搬送し、装置内で処理済みのカセットをカセットローダによりカセットステージに搬送して、カセットステージから外部カセット搬送手段に払出す半導体製造装置において、上記カセットステージを複数段設けて、カセットの投入・カセットの装置内搬送と、ウェーハの位置決め・カセットの払出しとを異なるカセットステージで行なえるようにし、かつ、複数段のカセットステージを移動可能に設けて、カセットステージの移動により、一の段のカセットステージが外部カセット搬送手段に対してカセットの投入または払出しができるアクセス可能位置にあるとき、他の段のカセットステージがカセットローダとの間でカセットを搬送できるアクセス可能位置にあるか、またはウェーハの位置決めが行なえる位置にあることを特徴とする半導体製造装置。