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J-GLOBAL ID:200903062165929560
感刺激性組成物及び化合物
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (5):
小栗 昌平
, 本多 弘徳
, 市川 利光
, 高松 猛
, 濱田 百合子
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003022318
Publication number (International publication number):2004233661
Application date: Jan. 30, 2003
Publication date: Aug. 19, 2004
Summary:
【課題】高感度、高解像力で、良好なプロファイルを示す感刺激性組成物、また、200nm以下、特にF2レーザー光(157nm)の露光波長において高感度の感光性組成物、更には、これらの組成物を提供すべく、外部からの刺激により酸またはラジカルを発生する新規な化合物を提供する。【解決手段】外部からの刺激により酸またはラジカルを発生するカルボニル基とフッ素原子を有する化合物(A)を含有する感刺激性組成物、特に、化合物(A)が、カチオン部とアニオン部を有する化合物であり、カチオン部にカルボニル基とフッ素原子を有する化合物であることを特徴とする感刺激性組成物。【選択図】 なし
Claim (excerpt):
外部からの刺激により酸またはラジカルを発生するカルボニル基とフッ素原子を有する化合物(A)を含有する感刺激性組成物。
IPC (4):
G03F7/004
, C07C381/12
, C07D333/46
, H01L21/027
FI (4):
G03F7/004 503A
, C07C381/12
, C07D333/46
, H01L21/30 502R
F-Term (17):
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AB03
, 2H025AB16
, 2H025AC08
, 2H025AD01
, 2H025AD03
, 2H025BE07
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CC17
, 4H006AA01
, 4H006AA03
, 4H006AB92
, 4H006TN10
, 4H006TN30
, 4H006TN40
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (13)
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