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J-GLOBAL ID：200903062178286251

光学装置用部品の洗浄方法

Inventor： 松浦 恵二
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 井上 義雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997362358
Publication number (International publication number)：1999169806
Application date： Dec. 12, 1997
Publication date： Jun. 29, 1999
Summary：

【要約】【課題】 光学部品と保持具を有する光学装置用部品を効率的かつ確実に洗浄することができる洗浄方法を提供すること。【解決手段】 光学レンズP1とレンズ保持具P2とを一体化して被洗浄物である光学装置用部品Pを準備する。次に、光学装置用部品Pを処理室2内の支持台3上に配置する。次に、処理室2を密閉して、ガス排出部より排気しつつ、ガス導入部5よりドライエアーを送り込む。これと同時に、上下の低圧水銀ランプ4を点灯して、光学レンズP1及びレンズ保持具P2の両面を光洗浄する。

Claim (excerpt)：

光学部品と当該光学部品を保持する保持具とを備える光学装置用部品を洗浄する方法であって、前記光学部品を前記保持具に保持した状態で、前記光学部品と前記保持具とを同時に洗浄することを特徴とする光学装置用部品の洗浄方法。

IPC (4)：

B08B 7/00 ,  G02B 1/10 ,  G02B 3/00 ,  G02B 7/00

FI (4)：

B08B 7/00 ,  G02B 3/00 Z ,  G02B 7/00 F ,  G02B 1/10 Z