変位検出装置および焦点検出装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：三品岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998232976
Publication number (International publication number)：2000065525
Application date： Aug. 19, 1998
Publication date： Mar. 03, 2000
Summary：

【要約】【課題】ダブルモード導波路を用いる構成であって、被検物体が傾斜した場合にも精度よく変位量の検出を行うことができる変位検出装置を提供する。【解決手段】光源1からの光を被検物体5上に集光光学系4により集光する。被検物体5で反射され再び集光光学系4を通過した光を、分割手段6は、第1および第2の光束105、106に分割する。第1の光束105は、第1のダブルモード導波路12の中心からわずかにずれた位置に入射する。第2の光束106は、第2のダブルモード導波路22の中心に入射する。第1および第2の検出手段、102、13、14、15、16、103、23、24、25、26は、第1および第2のダブルモード導波路12、22を伝搬してきた光の強度分布の対称性をそれぞれ検出する。

Claim (excerpt)：

光源と、前記光源からの光を被検物体上に集光する集光光学系と、前記被検物体で反射され再び前記集光光学系を通過した光を第1および第2の光束に分割する分割手段と、前記第1および第2の光束をそれぞれ入射させて伝搬させるための第1および第2のダブルモード導波路と、前記第1および第2のダブルモード導波路を伝搬してきた光の強度分布の対称性をそれぞれ検出するための第1および第2の検出手段とを有し、前記第1のダブルモード導波路は、前記第1の光束が当該第1のダブルモード導波路の中心からわずかにずれた位置に入射する位置に配置され、前記第2のダブルモード導波路は、前記第2の光束が当該第2のダブルモード導波路の中心に入射する位置に配置されていることを特徴とする変位検出装置。

IPC (2)：

G01B 11/00 , G02B 21/00

FI (3)：

G01B 11/00 A , G01B 11/00 F , G02B 21/00

F-Term (21)：

2F065AA02 , 2F065AA22 , 2F065AA31 , 2F065FF10 , 2F065GG04 , 2F065GG12 , 2F065HH03 , 2F065JJ01 , 2F065JJ23 , 2F065LL10 , 2F065LL12 , 2F065LL37 , 2F065QQ25 , 2H052AB17 , 2H052AB24 , 2H052AC04 , 2H052AC27 , 2H052AC34 , 2H052AD09 , 2H052AD31 , 2H052AF02

Return to Previous Page